Sensitivity tuning of A 3-axial piezoresistive force sensor
Molnár D, Anita Pongrácz, Antalné Ádám, Zoltán Hajnal, Veronika Timárné Horváth, Gábor Battistig MICROELECTRONIC ENGINEERING 0167-9317 2012 View on: MTMT: 1774291 | DOI: 10.1016/j.mee.2011.05.030 | WoS: 000299363700012 | Scopus: 82555192483